Inductively coupled plasma mass spectrometry (ICP-MS) adalah jenis spektrometri massa yang sangat sensitif. ICP-MS dapat melihat berbagai logam dan beberapa non-logam pada konsentrasi di bawah satu bagian dalam 1012 (bagian per triliun). Hal ini didasarkan pada pengaitan bersama plasma yang digabungkan secara induktif sebagai metode untuk menghasilkan ion (ionisasi) dengan spektrometer massa sebagai metode untuk memisahkan dan mendeteksi ion-ion tersebut. Banyak ahli kimia menggunakan Argon sebagai gas pembawa untuk membuat plasma. Mesin mengirimkan ion sampel melalui serangkaian kerucut kecil. Kerucut-kerucut tersebut membiarkan ion-ion plasma perlahan-lahan memasuki ruang vakum spektrometer massa.
Dalam analisis elemen jejak, metode ini memiliki keunggulan kecepatan, presisi dan sensitivitas yang tinggi dibandingkan dengan teknik penyerapan atom. Analisis konsentrasi yang lebih rendah pada saat yang sama lebih rentan terhadap gangguan oleh jejak kontaminan dalam peralatan laboratorium dan reagen yang digunakan. Beberapa analit tidak dapat bekerja dengan ICP-MS. Verifikasi hasil analisis memerlukan pekerjaan tambahan.
Variasi aplikasi melebihi ICP-OES dan termasuk spesiasi isotop. Karena ICP-MS dapat membantu membuat bom atom, perangkat keras ICP-MS adalah subjek untuk peraturan ekspor khusus.